項目名稱：中國科學院長春光學精密機械與物理研究所大平臺原子力顯微鏡采購項目
中標（成交）信息
供應商名稱：深圳明銳儀器有限公司
供應商地址：深圳市龍崗區寶龍街道寶龍社區寶清路8號雙環工業廠區廠房C棟101
中標（成交）金額：472.5000000（萬元）
主要標的信息
| 序號 | 供應商名稱 | 貨物名稱 | 貨物品牌 | 貨物型號 | 貨物數量 | 貨物單價(元) |
| 1 | 深圳明銳儀器有限公司 | 大平臺原子力顯微鏡 | 明銳儀器 | MRe-AFM-M7 | 1套 | ￥4,725,000.00 |
| 公告信息： | |||
| 采購項目名稱 | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所大平臺原子力顯微鏡采購項目 | ||
| 品目 | 貨物/設備/儀器儀表/光學儀器/顯微鏡 | ||
| 采購單位 | 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所 | ||
| 行政區域 | 長春市 | 公告時間 | 2025年12月13日 14:35 |
| 評審專家名單 | 趙超、焦麗麗、盧宇、董國軍、李明茁 | ||
| 總中標金額 | ￥472.500000 萬元（人民幣） | ||
大平臺原子力顯微鏡（以大樣品臺原子力顯微鏡為例）介紹
大樣品臺原子力顯微鏡（AFM）是高端表面分析儀器，專為納米級三維形貌成像及材料物理屬性（力學、磁學、電學等）表征設計。其核心優勢在于支持大尺寸樣品（如直徑≥200mm的碳化硅晶圓）的無損檢測，突破傳統AFM對樣品尺寸的限制，同時保持原子級分辨率（垂直方向≤0.01nm，橫向≤0.1nm）。
樣品臺與掃描范圍
樣品臺尺寸：直徑200-210mm，支持自動移動，兼容12寸晶圓（如致真精密儀器Wafer Mapper-M型號）。
掃描范圍：XY方向最大120μm×120μm，Z方向12-15μm，適應表面起伏大的樣品（如臺階結構、粗糙表面）。
分辨率與噪聲水平
垂直分辨率：≤0.01nm（依賴探針與環境穩定性），可分辨原子級臺階。
橫向分辨率：<0.1nm，實現納米級形貌特征（如納米顆粒尺寸、薄膜厚度）的精準測量。
噪聲水平：Z向<0.05nm（RMS），XY向<0.1nm（RMS），確保高信噪比成像。
功能模式與擴展性
PeakForce Tapping（布魯克專利技術）：實現pN級超低力成像，避免損傷生物分子或聚合物。
相位成像模式：通過檢測驅動信號與實際振動相位差，反映樣品表面力學、電磁學性質分布。
基礎模式：輕敲模式（Tapping Mode）、接觸模式（Contact Mode），適用于硬質與軟質樣品。
高級模式：
多模塊擴展：支持橫向力顯微鏡（LFM）、靜電力顯微鏡（EFM）、磁力顯微鏡（MFM）、壓電力顯微鏡（PFM）等，實現摩擦力、電勢、磁疇、壓電響應等多物理場同步測量。
環境控制與變溫功能
液體池設計：支持液相環境檢測，適用于生物樣品（如細胞、DNA）的原位成像。
變溫范圍：-35°C至250°C，可研究材料相變過程（如聚合物玻璃化轉變、金屬腐蝕機理）。
半導體制造
晶圓檢測：分析碳化硅、硅片等大尺寸晶圓的表面粗糙度、顆粒污染、臺階高度（如刻蝕深度）。
缺陷定位：通過光學圖像與激光對準技術，在300mm×300mm區域內實現1μm定位精度，快速定位電流泄漏、晶格錯位等缺陷。
材料科學
納米材料表征：測量納米顆粒尺寸分布、納米線直徑、量子點形貌，支持納米結構力學性能（如彈性模量、粘附力）的定量分析。
高分子材料研究：觀察聚合物表面形貌演變（如溶劑揮發導致的相分離），分析摩擦系數、粘彈性等表面性質。
生物醫學
生物大分子成像：原位觀察DNA、蛋白質的精細結構，測量其楊氏模量及阻抗特性。
細胞力學研究：在液相環境中測量細胞膜彈性、細胞間作用力，揭示細胞遷移、分化機制。
能源領域
電池材料分析：研究鋰電池電極材料的表面形貌與導電性分布，優化充放電效率。
燃料電池催化層：表征催化劑顆粒尺寸與分散性，評估催化活性與耐久性。