項(xiàng)目名稱：中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所白光干涉儀采購項(xiàng)目

中標(biāo)（成交）信息

供應(yīng)商名稱：霖鼎光學(xué)（上海）有限公司

供應(yīng)商地址：上海市閔行區(qū)元江路525號19幢第3層

中標(biāo)（成交）金額：385.0000000（萬元）

主要標(biāo)的信息

白光干涉儀是一種基于光的干涉原理，對物體表面形貌進(jìn)行非接觸式、高精度三維測量的光學(xué)儀器。它通過分析白光（多色光）在樣品表面與參考鏡反射后形成的干涉條紋，獲取表面高度、粗糙度、臺階高度、形貌輪廓等參數(shù)，廣泛應(yīng)用于制造業(yè)、材料科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

核心原理與技術(shù)特點(diǎn)

低相干干涉原理

白光干涉儀利用白光（寬光譜光源）的低相干性，通過分光棱鏡將光束分為兩路：

測量光：照射樣品表面并反射；

參考光：照射參考鏡并反射。

兩束光重新匯合時，僅在光程差小于光源相干長度的區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生干涉條紋。通過馬達(dá)驅(qū)動參考鏡或樣品臺垂直移動，掃描不同高度位置的干涉信號，結(jié)合算法重建表面三維形貌。

非接觸式測量

無需接觸樣品表面，避免對柔軟、易損傷或高精度部件造成破壞，適合測量超光滑表面（如光學(xué)鏡片）、易脫落涂層（如生物樣本）或微納米級結(jié)構(gòu)（如MEMS器件）。

高精度與寬測量范圍

垂直分辨率：可達(dá)亞納米級（如0.1納米），橫向分辨率依賴光學(xué)系統(tǒng)數(shù)值孔徑，通常為微米級。

測量范圍：從納米級表面粗糙度到毫米級臺階高度，覆蓋超光滑（Ra<0.1nm）到粗糙表面（Ra>10μm）。

多參數(shù)分析功能

支持表面粗糙度（Ra、Rz）、波紋度、平面度、曲率半徑、臺階高度、體積、面積等參數(shù)的定量測量，并可生成二維輪廓曲線或三維形貌圖。

核心應(yīng)用場景

半導(dǎo)體與微電子

晶圓檢測：測量硅片表面粗糙度（Ra=0.7nm）、翹曲度、薄膜厚度（如光刻膠、氧化層）。

芯片封裝：檢測鍵合線高度、焊球共面性、倒裝芯片凸點(diǎn)高度。

光刻圖形分析：測量光刻膠凹槽深度、開口寬度及側(cè)壁角度。

光學(xué)制造

鏡片檢測：評估光學(xué)鏡片表面粗糙度、面形誤差（PV值）、透鏡曲率半徑。

薄膜測量：分析光學(xué)涂層（如增透膜、反射膜）的厚度均勻性及折射率。

材料科學(xué)

納米材料研究：表征納米顆粒尺寸、分布及團(tuán)聚狀態(tài)，測量納米線、量子點(diǎn)的形貌。

摩擦磨損分析：定量評估材料表面磨損深度、寬度及體積損失。

腐蝕研究：監(jiān)測金屬表面腐蝕坑的深度分布及腐蝕速率。

生物醫(yī)學(xué)

微流控芯片：測量微流道高度、寬度及表面粗糙度，優(yōu)化流體控制精度。

組織工程：分析細(xì)胞支架表面形貌對細(xì)胞粘附的影響。

航空航天與國防

發(fā)動機(jī)葉片檢測：測量渦輪葉片表面粗糙度及熱障涂層厚度。

衛(wèi)星零部件精度控制：檢測太陽能電池板表面平整度及光學(xué)元件面形誤差。